Thermal Desorption of Argon Implanted into Gallium Arsenide
1
Institute of Physics, Maria Curie Sklodowska University in Lublin, Pl. M. Curie-Sklodowskiej 1, 20-031 Lublin, Poland
2
Faculty of Electrical Engineering and Computer Science, Lublin University of Technology, Nadbystrzycka 38A, 20-618 Lublin, Poland
Autor do korespondencji
Krzysztof Pyszniak
Institute of Physics, Maria Curie Sklodowska University in Lublin, Pl. M. Curie-Sklodowskiej 1, 20-031 Lublin, Poland
Institute of Physics, Maria Curie Sklodowska University in Lublin, Pl. M. Curie-Sklodowskiej 1, 20-031 Lublin, Poland
Adv. Sci. Technol. Res. J. 2022; 16(4):318-326
SŁOWA KLUCZOWE
DZIEDZINY
STRESZCZENIE
Thermal desorption of Ar implanted with energies 150 keV and 100 keV with fluence 1×10^16 cm^-2 into GaAs is considered. A sudden release of Ar is observed in temperature range 1100 -1180 K as a single narrow peak in TDS (Thermal Desorption Spectroscopy) spectra. This is accompanied by a strong background signal from atmospheric Ar trapped in various parts of the spectrometer. Desorption peak shift analysis allows estimation of desorption activation energy values - these are 3.6 eV and 2.5 eV for implantation energies 150 keV and 100 keV, respectively. These results are comparable to that measured for Ar implanted into germanium target.
Udostępnij
Przetwarzamy dane osobowe zbierane podczas odwiedzania serwisu. Realizacja funkcji pozyskiwania informacji o użytkownikach i ich zachowaniu odbywa się poprzez dobrowolnie wprowadzone w formularzach informacje oraz zapisywanie w urządzeniach końcowych plików cookies (tzw. ciasteczka). Dane, w tym pliki cookies, wykorzystywane są w celu realizacji usług, zapewnienia wygodnego korzystania ze strony oraz w celu monitorowania ruchu zgodnie z Polityką prywatności. Dane są także zbierane i przetwarzane przez narzędzie Google Analytics (więcej).
Możesz zmienić ustawienia cookies w swojej przeglądarce. Ograniczenie stosowania plików cookies w konfiguracji przeglądarki może wpłynąć na niektóre funkcjonalności dostępne na stronie.
Możesz zmienić ustawienia cookies w swojej przeglądarce. Ograniczenie stosowania plików cookies w konfiguracji przeglądarki może wpłynąć na niektóre funkcjonalności dostępne na stronie.
